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镀锌风管——排气类型分类

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镀锌风管——排气类型分类

发布日期:2021-08-29 作者: 点击:

您知道镀锌风管的型号是什么吗?以下列出了下列类型。


(1)一般排气:机器运转发热,产生无害物质或高温气体,但考虑到洁净室空调负荷和过滤装置负荷,将废气用普通风车排入大气环境,无需处理。注意:GEX采用镀锌螺旋风管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、碱排(AEX)系统流程。


(2)酸碱排气:主要来自化学清洗站。清洗晶片时产生的挥发性气体含有浓烟,对呼吸系统有刺激作用。所以一定要用Scrubberubber中清洗,然后通过风扇排放到大气中。


(3)有机溶剂排气:主要来源于涂胶、显影工序及各工序的有机溶剂清洗过程中产生的,需要用有机废气处理设备处理后,再由风机排入大气。


(4)碱脱气:其主要来源是数组工程的脱皮工序所用的脱皮液,废气通过冷凝吸收器将废气中的脱除液冷却下来,冷凝器吸收处理过的废气所含的废气浓度会大大降低,然后送到CentralScrubber进行洗涤和处理,再由风机排入大气。


(5)紧急排气:在洁净室的机台端风管中,探头感应气体浓度太高时,紧急开启,使生产正常,维持室内环境。


镀锌风管

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